Inspection device, mounting device, inspection method, and program
WO2023157061
Art A1
24. August 2023
Anmelder: SHINKAWA LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023157061
- Aktenzeichen
- EP22926965
- Anmeldetag
- 15. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 24. August 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/50H01L21/52H01L21/60H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHINKAWA LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shinkawa
Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.
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