Diffraction grating manufacturing method and diffraction grating

WO2023157475 Art A1 24. August 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023157475
Aktenzeichen
EP22926342
Anmeldetag
23. Dezember 2022
Veröffentlichung
24. August 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G02B5/18G01J3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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