Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film, pattern formation method, electronic device manufacturing method, compound, and resin

WO2023157526 Art A1 24. August 2023

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023157526
Aktenzeichen
EP23756054
Anmeldetag
16. Januar 2023
Veröffentlichung
24. August 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039C08F12/02C08F32/08C08F220/12G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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