Yttrium-based protective film, method for producing same, and member

WO2023157849 Art A1 24. August 2023

Anmelder: AGC INC., TSUBASA SCIENCE CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023157849
Aktenzeichen: EP23756374
Anmeldetag: 14. Februar 2023
Veröffentlichung: 24. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06C23C16/44H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AGC INC.
TSUBASA SCIENCE CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von