Method for producing chalcogenide-based atomic layer film

WO2023157968 Art A1 24. August 2023

Anmelder: AISIN CORPORATION, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION HOKKAIDO UNIVERSIT 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023157968
Aktenzeichen: EP23756492
Anmeldetag: 20. Februar 2023
Veröffentlichung: 24. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/46C23C16/30C23C16/56C30B31/18H01L21/365H01L21/368

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AISIN CORPORATION
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION HOKKAIDO UNIVERSIT
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Aisin Corporation

Japanischer Automobilzulieferer (frühere Firmierung Aisin Seiki), der Antriebsstrangkomponenten, Getriebe und Karosserieteile herstellt und zur Toyota-Gruppe gehört.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von