In-situ laser interference photolithography method based on molecular beam epitaxy

WO2023159829 Art A1 31. August 2023

Anmelder: SOOCHOW UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023159829
Aktenzeichen
EP22928099
Anmeldetag
24. Juni 2022
Veröffentlichung
31. August 2023
Rechtsraum
WO
IPC
B23K26/362
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOOCHOW UNIVERSITY
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Soochow University

Soochow University ist eine staatliche Universität in Suzhou, China, mit breitem Fächerspektrum einschließlich Materialwissenschaft und Chemie.

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