Turbomolecular vacuum pump and associated method

WO2023160840 Art A1 31. August 2023

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023160840
Aktenzeichen
EP22818299
Anmeldetag
15. November 2022
Veröffentlichung
31. August 2023
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04F04D27/00F04D27/02F04D29/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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