Methods and systems for improving wafer defect classification nuisance rate

WO2023160986 Art A1 31. August 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023160986
Aktenzeichen: EP23703721
Anmeldetag: 3. Februar 2023
Veröffentlichung: 31. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95H01L21/66G06T7/00G01N23/2251

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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