Temperature adjusting system, temperature adjusting method, substrate processing method, and substrate processing device

WO2023162161 Art A1 31. August 2023

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023162161
Aktenzeichen: EP22928688
Anmeldetag: 25. Februar 2022
Veröffentlichung: 31. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

325 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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