Wafer inspection device

WO2023162523 Art A1 31. August 2023

Anmelder: TORAY ENGINEERING CO., LTD., TASMIT, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023162523
Aktenzeichen: EP23759529
Anmeldetag: 18. Januar 2023
Veröffentlichung: 31. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G06T7/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TORAY ENGINEERING CO., LTD.
TASMIT, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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