Resist Underlayer Film Formation Composition

WO2023162653 Art A1 31. August 2023

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023162653
Aktenzeichen
EP23759657
Anmeldetag
6. Februar 2023
Veröffentlichung
31. August 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C08G61/12G03F7/26G03F7/40G03F7/42H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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