Programmable Precision Etching

WO2023164251 Art A1 31. August 2023

Anmelder: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023164251
Aktenzeichen: EP23760760
Anmeldetag: 28. Februar 2023
Veröffentlichung: 31. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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