Polishing head and polishing device

WO2023166986 Art A1 7. September 2023

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023166986
Aktenzeichen: EP23763246
Anmeldetag: 15. Februar 2023
Veröffentlichung: 7. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B24B21/00B24B21/08H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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