Methods, systems, and software for determination of failure rates of lithographic processes

WO2023169806 Art A1 14. September 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023169806
Aktenzeichen: EP23706719
Anmeldetag: 17. Februar 2023
Veröffentlichung: 14. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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