Plasma processing method

WO2023170732 Art A1 14. September 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023170732
Aktenzeichen: EP22930718
Anmeldetag: 7. März 2022
Veröffentlichung: 14. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/336H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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