Temperature control apparatus, testing apparatus, temperature control method, and temperature control program
WO2023170737
Art A1
14. September 2023
Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023170737
- Aktenzeichen
- EP22930723
- Anmeldetag
- 7. März 2022
- Veröffentlichung
- 14. September 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANTEST CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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