Laser annealing apparatus and laser annealing method

WO2023171170 Art A1 14. September 2023

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023171170
Aktenzeichen: EP23766350
Anmeldetag: 26. Januar 2023
Veröffentlichung: 14. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: V TECHNOLOGY CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

349 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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