Starting material for thin film formation by atomic layer deposition, thin film, and method for producing thin film

WO2023171489 Art A1 14. September 2023

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023171489
Aktenzeichen: EP23766665
Anmeldetag: 1. März 2023
Veröffentlichung: 14. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C07F11/00C23C16/455H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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