Three-dimensional silicon-based switching structure processing method and device based on photosensitive composite material

WO2023173862 Art A1 21. September 2023

Anmelder: Shanghai Jiao Tong University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023173862
Aktenzeichen: EP22931868
Anmeldetag: 19. Dezember 2022
Veröffentlichung: 21. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/48H01L23/14H01L23/538H01L23/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shanghai Jiao Tong University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Shanghai Jiao Tong University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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