Illumination arrangement for a metrology device and associated method

WO2023174648 Art A1 21. September 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023174648
Aktenzeichen: EP23705439
Anmeldetag: 21. Februar 2023
Veröffentlichung: 21. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G02B5/18G02B27/00G03H1/04G03F7/20G01J9/00G01N15/14G02B21/10G02B21/36G02B26/06G02B27/42

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von