Diagnosis device, semiconductor manufacturing device system, semiconductor device manufacturing system, and diagnosis method

WO2023175661 Art A1 21. September 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023175661
Aktenzeichen: EP22931946
Anmeldetag: 14. März 2022
Veröffentlichung: 21. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01N25/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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