A substrate processing device, a substrate processing method, a semiconductor device manufacturing method, a program, and a gas supply unit

WO2023175740 Art A1 21. September 2023

Anmelder: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023175740
Aktenzeichen: EP22932022
Anmeldetag: 15. März 2022
Veröffentlichung: 21. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/285H01L21/31H01L21/318C23C16/34C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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