Reaction furnace for moisture generation

WO2023176208 Art A1 21. September 2023

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023176208
Aktenzeichen
EP23770169
Anmeldetag
8. Februar 2023
Veröffentlichung
21. September 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C01B5/00B01J23/42
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
FUJIKIN INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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