Vacuum processing device, particle removal mechanism, and particle removal method

WO2023176808 Art A1 21. September 2023

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023176808
Aktenzeichen: EP23770763
Anmeldetag: 14. März 2023
Veröffentlichung: 21. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H05H1/46C23C14/00C23C16/44H01L21/205H01L21/3065H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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