Integrated Showerhead

WO2023177467 Art A1 21. September 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023177467
Aktenzeichen
EP23771200
Anmeldetag
11. Januar 2023
Veröffentlichung
21. September 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/52H01L21/67H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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