Electron gun and electron microscope
WO2023177916
Art A1
21. September 2023
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023177916
- Aktenzeichen
- EP23771487
- Anmeldetag
- 20. März 2023
- Veröffentlichung
- 21. September 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/073H01J1/304H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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