Method for producing group iii nitride single crystal and substrate for group iii nitride single crystal growth

WO2023181601 Art A1 28. September 2023

Anmelder: TOKUYAMA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023181601
Aktenzeichen
EP23774202
Anmeldetag
16. Januar 2023
Veröffentlichung
28. September 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C30B25/20C30B29/38H01L21/20H01L21/365
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKUYAMA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

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