Pellicle frame, pellicle, original plate for exposure, exposure device, and pellicle production method

WO2023181869 Art A1 28. September 2023

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023181869
Aktenzeichen: EP23774468
Anmeldetag: 3. März 2023
Veröffentlichung: 28. September 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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