Via filling method and via filling apparatus

WO2023184165 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY, HUST-WUXI RESEARCH INSTITUTE 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023184165
Aktenzeichen: EP22934021
Anmeldetag: 29. März 2022
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L23/522

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
HUST-WUXI RESEARCH INSTITUTE
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Huazhong University of Science and Technology

Die Huazhong University of Science and Technology ist eine chinesische Universität mit Sitz in Wuhan und breiter technischer sowie medizinischer Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Software und Medizintechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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