Molybdenum alloy target material, and preparation method and application thereof

WO2023186188 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY&MATERIALS CO., LTD., ATTL ADVANCED MATERIALS CO., LTD., ATTL (BEIJING) ADVANCED MATERIALS CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023186188
Aktenzeichen: EP23778550
Anmeldetag: 22. Mai 2023
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34B22F3/15B22F3/18B22F3/24C22C27/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ADVANCED TECHNOLOGY&MATERIALS CO., LTD.
ATTL ADVANCED MATERIALS CO., LTD.
ATTL (BEIJING) ADVANCED MATERIALS CO., LTD.
Land: 🇨🇳 China

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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