Methods related to an autoencoder model or similar for manufacturing process parameter estimation

WO2023186446 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023186446
Aktenzeichen: EP23707761
Anmeldetag: 2. März 2023
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06N3/04G06N3/08G03F7/20G06N3/045G06N3/084

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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