Shaping system, radiation condition setting method, input system, computer program, and recording medium
WO2023188005
Art A1
5. Oktober 2023
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023188005
- Aktenzeichen
- EP22935154
- Anmeldetag
- 29. März 2022
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B22F12/45B22F12/49B29C64/277B33Y10/00B33Y30/00B33Y50/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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