Shaping system, radiation condition setting method, input system, computer program, and recording medium

WO2023188005 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023188005
Aktenzeichen
EP22935154
Anmeldetag
29. März 2022
Veröffentlichung
5. Oktober 2023
Rechtsraum
WO
IPC
B22F12/45B22F12/49B29C64/277B33Y10/00B33Y30/00B33Y50/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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