Electrostatic chuck member, electrostatic chuck device, and method for manufacturing electrostatic chuck member

WO2023188632 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023188632
Aktenzeichen: EP22935758
Anmeldetag: 22. Dezember 2022
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/205H01L21/3065H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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