Method for producing abrasive grains, composition for chemical mechanical polishing, and polishing method

WO2023189400 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023189400
Aktenzeichen: EP23779424
Anmeldetag: 10. März 2023
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02B24B37/00C09K3/14H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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