Spattering target, spattering target production method, crystal oxide thin film, thin film transistor, and electronic equipment

WO2023189834 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023189834
Aktenzeichen
EP23779850
Anmeldetag
20. März 2023
Veröffentlichung
5. Oktober 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C04B35/01H01L21/336H01L21/363H01L27/146H01L29/06H01L29/66H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IDEMITSU KOSAN CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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