Transport device, exposure device, transport method, exposure method, and alignment mark

WO2023190110 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023190110
Aktenzeichen: EP23780120
Anmeldetag: 24. März 2023
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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