Transfer device and transfer method

WO2023190389 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: TORAY ENGINEERING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023190389
Aktenzeichen
EP23780398
Anmeldetag
27. März 2023
Veröffentlichung
5. Oktober 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/60H01L21/02H01L21/50H01L25/065H01L25/07H01L25/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TORAY ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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