Metal carbonyl complexes with phosphorus-based ligands for cvd and ald applications

WO2023192111 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: MERCK PATENT GMBH, VERSUM MATERIALS US, LLC 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023192111
Aktenzeichen: EP23719520
Anmeldetag: 24. März 2023
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C07F11/00C23C16/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MERCK PATENT GMBH
VERSUM MATERIALS US, LLC
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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