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WO2023192545 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023192545
Aktenzeichen
EP23781841
Anmeldetag
31. März 2023
Veröffentlichung
5. Oktober 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01N21/956G06T7/00G06N20/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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