Electro-optical device

WO2023194025 Art A1 12. Oktober 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023194025
Aktenzeichen: EP23708810
Anmeldetag: 7. März 2023
Veröffentlichung: 12. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/118G02F1/03G02F1/01H01S3/107

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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