Device and method for aligning two components

WO2023194220 Art A1 12. Oktober 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023194220
Aktenzeichen: EP23716490
Anmeldetag: 31. März 2023
Veröffentlichung: 12. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00B23Q16/00F16B5/00F16B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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