System and approving method, information acquisition system and information acquisition method, shape acquisition system and shape acquisition method, and monitoring method

WO2023195448 Art A1 12. Oktober 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023195448
Aktenzeichen: EP23784734
Anmeldetag: 3. April 2023
Veröffentlichung: 12. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01C9/00G01C9/04G08C17/00G06Q50/08G06F30/13E04G21/14E04G21/18G01B7/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Hochbau & Gebäudetechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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