Coating interior surfaces of complex bodies by atomic layer deposition

WO2023196018 Art A1 12. Oktober 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023196018
Aktenzeichen
EP22936705
Anmeldetag
28. Dezember 2022
Veröffentlichung
12. Oktober 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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