Apparatus for and method of vibration cancellation for laser wavelength and bandwidth stability

WO2023196087 Art A1 12. Oktober 2023

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023196087
Aktenzeichen: EP23717687
Anmeldetag: 13. März 2023
Veröffentlichung: 12. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00F16F15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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