Verbindung von Komponenten einer Optischen Einrichtung

WO2023198732 Art A1 19. Oktober 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023198732
Aktenzeichen: EP23717957
Anmeldetag: 12. April 2023
Veröffentlichung: 19. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B5/09G02B5/10G02B26/08G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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