Epitaxial wafer and method for manufacturing epitaxial wafer

WO2023199647 Art A1 19. Oktober 2023

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023199647
Aktenzeichen
EP23788069
Anmeldetag
7. März 2023
Veröffentlichung
19. Oktober 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C23C16/24C30B25/20H01L21/205H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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