Phase shift mask blank, phase shift mask, and methods for manufacturing same

WO2023199668 Art A1 19. Oktober 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023199668
Aktenzeichen: EP23788090
Anmeldetag: 10. März 2023
Veröffentlichung: 19. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/32G03F1/58G03F1/80C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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