Holding member and electrostatic chuck

WO2023199686 Art A1 19. Oktober 2023

Anmelder: NITERRA CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023199686
Aktenzeichen: EP23788108
Anmeldetag: 15. März 2023
Veröffentlichung: 19. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NITERRA CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Niterra

Niterra ist ein japanischer Hersteller von Zündkerzen, Keramikbauteilen und Sensoren für die Fahrzeugindustrie, hervorgegangen aus NGK Spark Plug. Der Patentbestand konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie anorganische Chemie und Elektroniktechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von