Ruthenium complex, method for producing same, and method for producing ruthenium-containing thin film

WO2023199853 Art A1 19. Oktober 2023

Anmelder: TOSOH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023199853
Aktenzeichen: EP23788272
Anmeldetag: 7. April 2023
Veröffentlichung: 19. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C07F19/00C23C16/16C23C16/18H01L21/28H01L21/285C07F7/18C07F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOSOH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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