Non-uniform-thickness layers and methods for forming

WO2023200969 Art A1 19. Oktober 2023

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023200969
Aktenzeichen: EP23788956
Anmeldetag: 13. April 2023
Veröffentlichung: 19. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B05D5/06B32B3/08B32B3/30G02B5/02H01L21/308B05D7/24H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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